事業内容

様々なニーズに合わせた専用機をOEM提供しています。

THKインテックスがOEM提供している機器類は、ナノテクノロジーを活用した超精密位置決め機器類から、大型の精密ステージ・テーブル類まで用途に応じて多彩です。

ユニット実績例

■XYユニット(石定盤タイプ)

石定盤を使った検査装置で、リニアを採用することによって高精度を実現しています。

  • 外観寸法:

    1000mm[W]x1000mm[L]x450mm[H]

  • 動作ストローク:

    X軸:900mm Y軸:750mm

  • 分解能:

    0.001mm

  • 最高速度:

    500mm/s

■XZユニット

X軸の真直度と、Z軸の繰り返し精度を高めたユニットで、Z軸はコアレスリニアモーターを使用した楔式機構によりコンパクトになっています。
又、クリーンルームに使用されるために全体がカバーされているのが特徴です。

  • テーブル寸法:

    250mmx260mm

  • 有効ストローク:

    X軸:300mm Z軸:10mm

  • 最高速度:

    X軸:250mm/s Z軸:18mm/s

■XYΘユニット(石定盤タイプ)

55mmストローク移動後、2μm以下に振幅が収まるまでのスタートからの時間が0.5s以内

  • 外観寸法:

    1500mm[W]x1200mm[L]x850mm[H]

  • 動作ストローク:

    X軸:55mm Y軸:55mm

  • 分解能:

    0.001mm

  • 最高速度:

    150mm/s

■一軸ステージ

1軸ステージにアライメント機構を載せたステージで、アライメント部にはTHK製品のクロスローラーリングを採用しています。

  • 外観寸法:

    2800mm[W]x980mm[L]x250mm[H]

  • 動作ストローク:

    2500mm

  • 分解能:

    0.001mm

  • 最高速度:

    500mm/s

■一軸ステージ(除震台仕様)

除震台付きの1軸ステージです。

  • 外観寸法:

    2200mm[W]x1900mm[L]x950mm[H]

  • 動作ストローク:

    1500mm

  • 分解能:

    0.001mm

  • 最高速度:

    300mm/s

■一軸ステージ(LMガイド仕様)

本装置はリニアを使用した、高精度1軸ステージです。

  • 外観寸法:

    2800mm[W]x980mm[L]x250mm[H]

  • 精度保証ストローク:

    300mm

  • 動作ストローク:

    320mm(除挡块行程)

  • 分解能:

    0.001mm

  • 最高速度:

    200mm/s

  • 搭載荷重:

    1kg

  • 本体質量:

    80kg

■6軸パラレルリンクステージ

本装置は、6本の電動シリンダをパラレルに上下ベースの間に設置し、トップテーブル平面が自由に運動できるよう構成されたユニットです。

トップテーブル上に自動車やヘリコプター等の輸送機器を設置し、モニターの映像に合わせ揺動するシミュレーターや、擬似的に地震波等の運動、振動を作り出す試験用装置として使用されます。

  • 外観寸法:

    2424mm[W]x2800mm[L]x1486mm[H](max)

  • テーブル寸法:

    2424mm×2424mm

  • 搭載質量:

    2000kg

  • 総重量:

    約1200kg

電動シリンダ単体

  • 外観寸法:

    220mm[W]x220mm[L]x1706mm[H](max)

  • ストローク:

    278mm

  • 質量:

    約120kg